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EUV-Technologie

FB Mathematik, Informatik, Technik / Hochschule Koblenz

Joseph-Rovan-Allee 2, 53424 Remagen
Forschungsprojekte
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2000 - 2001

Konversionsuntersuchungen für laserbasierte Quellen mit Jet-Target im EUV-Bereich in Abhängigkeit von relevanten Laserparametern