Degradation of thin-film filters irradiated by debris emission of a laser induced plasma
Proceedings of SPIE : Damage to VUV, EUV and X-ray Optics II. Bd. 7361. Bellingham, Wash.: SPIE 2009 73610V
Erscheinungsjahr: 2009
ISBN/ISSN: 0277-786X
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.821847
| Geprüft: | Bibliothek |
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
3.21 - Physik der kondensierten Materie
DDC Sachgruppe:
Physik
