Nanofabrication of diffractive elements for soft x-ray and extreme ultraviolet applications using ion beam lithography
Applied Physics Letters. Bd. 95. H. 19. Melville, N.Y.: AIP 2009 191118
Erscheinungsjahr: 2009
ISBN/ISSN: 0003-6951
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1063/1.3258655
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Klassifikation
DFG Fachgebiet:
Medizin
DDC Sachgruppe:
Physik
