Nanofabrication of diffractive elements for soft x-ray and extreme ultraviolet applications using ion beam lithography
Applied Physics Letters. Bd. 95. H. 19. Melville, N.Y.: AIP 2009 191118
Erscheinungsjahr: 2009
ISBN/ISSN: 0003-6951
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1063/1.3258655
| Geprüft: | Bibliothek |
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
2.22 - Medizin
DDC Sachgruppe:
Physik
