Nano-optical elements fabricated by e-beam and x-ray lithography
Proceedings of SPIE : Nano- and Micro-Optics for Information Systems. Bd. 5225. Bellingham, Wash.: SPIE 2003 S. 113 - 125
Erscheinungsjahr: 2003
ISBN/ISSN: 0277-786X
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.507880
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Autoren
Di Fabrizio, Enzo (Autor)
Cojoc, Dan (Autor)
Cabrini, Stefano (Autor)
Businaro, Luca (Autor)
Altissimo, Matteo (Autor)
Vaccari, Lisa (Autor)
Romanato, Filippo (Autor)
Malureanu, Radu (Autor)
Kaulich, Burkhard (Autor)
Susini, Jean (Autor)
Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Physik
