Target materials for efficient plasma-based extreme ultraviolet sources in the range of 6 to 8 nm
Journal of Physics D : Applied Physics. Bd. 52. H. 50. Bristol: IOP Publ. 2019 S. 505202
Erscheinungsjahr: 2019
ISBN/ISSN: 1361-6463
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1088/1361-6463/ab4317
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Autoren
von Wezyk, Alexander (Autor)
Andrianov, Konstantin (Autor)
Bergmann, Klaus (Autor)
Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Physik
