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Eigenspannungsoptimierte dünne Schichten und Randschichten

Laufzeit: 01.09.2005 - 27.11.2007

Partner: Forschungsschwerpunkt IMS der FH KL, Firma Wolf Beschichtungstechnologie GmbH, Bruchmühlbach / Pfalz, Firma Micromotion GmbH Mainz

Förderkennzeichen: 15212-52 170-1/40 (19)

Förderung durch: MBWJK RLP

Projektmittel (€): 155000

Kurzfassung

Leitprojekt 2 im Hochschulprogramm "Wissen schaft Zukunft" und des im Jahr 2005 unter externer Begutachtung neu gegründeten Forschungsschwerpunktes "Integrierte Miniaturisierte Systeme" ("IMS"). Ziel ist die Vorbereitung weiterer Forschungsprojekte.

  • Schichten Eigenspannungen Mikrohärte Gefüge

Projektteam

Joachim Ernst Hoffmann

Beteiligte Einrichtungen

Logo Fachbereich Angewandte Ingenieurwissenschaften