Patente
Zelle mit einer Kavität, Bauelement und Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung derselben
WO 002009012939 A2 - Feili, Dara
Vorrichtung zum Messen einer Druckdifferenz, insbesondere kapazitiver Differenzdrucksensor
DE 102011017462 - Feili, Dara