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Mechanische Eigenschaften galvanisch hergestellter Mikroproben für die Auslegung von Mikrozahnrädern

Laufzeit: 01.07.2008 - 01.07.2011

Partner: Firma Micromotion GmbH, Mainz, Firma SincoTech GmbH, Clausthal-Zellerfeld und Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH, TU Kaiserslautern

Förderkennzeichen: 1713X08

Förderung durch: BMBF

Projektmittel (€): 258921

Kurzfassung


Ziel ist die Erarbeitung mechanischer Werkstoffkennwerte an Mikroproben für Mikrobauteile aus nach dem LIGA-Verfahren hergestellten NiFe-Legierungen. Legierungszusammensetzung und Mikrostruktur werden dabei gezielt durch definierte Abscheidebedingungen variiert. Benötigt werden die Kennwerte für die Auslegung von Mikrobauteilen.

  • Mikroproben Mikrobauteile Mikrozahnräder LIGA-Verfahren mechanische Werkstoffkennwerte

Projektteam


Beteiligte Einrichtungen