Electroplating of low coercivity NiFeMo-films for wafer-level fabrication of magnetic microsensors
Third International Conference in Advanced Manufacturing for Multifunctional Miniaturised Devices (M6). Tsukuba, Japan. 2014
Erscheinungsjahr: 2014
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
