Kurzfassung

Ziel ist die Erarbeitung mechanischer Werkstoffkennwerte an Mikroproben für Mikrobauteile aus nach dem LIGA-Verfahren hergestellten NiFe-Legierungen. Legierungszusammensetzung und Mikrostruktur werden dabei gezielt durch definierte Abscheidebedingungen variiert. Benötigt werden die Kennwerte für die Auslegung von Mikrobauteilen.