Kurzportrait

Wir sind eine interdisziplinäre Forschungsgruppe an der Hochschule Kaiserslautern am Studienort Zweibrücken. Die Arbeitsgruppe gehört zum Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik (I/MST) und wird von Prof. Dr. Monika Saumer geleitet.

Die Tätigkeitsschwerpunkte liegen im Bereich der Prozessentwicklung für galvanische Verfahren, wie z.B. der Legierungsabscheidungen für Mikrosensoren und Mikroaktoren, der Herstellung von nanostrukturierten Substraten für Sensoranwendungen oder von Stempeln für Prägeprozesse.

Weiterer Schwerpunkte sind die chipbasierte Kapillarelektrophorese, wobei die Entwicklung von Chips und Methoden für verschiedene Anwendungen im Vordergrund steht, sowie die Herstellung von mikro- und nanostrukturierten Substraten für biomedizinische Anwendungen wie z.B. Zellreaktoren oder chipbasierte Arrays.

Ausstattung

Die Arbeitsgruppe "Chemische Prozesse in der Mikrotechnik" profitiert von der hervorragenden Ausstattung des Studienortes Zweibrücken.

Neben den naturwissenschaftlichen und ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenlaboren (Chemie, Physik, Biologie, Biochemie und E-Technik) sowie Großgeräten (zum Beispiel Rasterelektronenmikroskop) verfügt der Fachbereich IMST über einen umfassend ausgestatteten Reinraum für siliciumtechnische- und LIGA- Anwendungen.

https://www.hs-kl.de/forschung/forschungsschwerpunkte/integrierte-miniaturisierte-systeme-ims/ausstattung/

Zusätzlich stehen der Arbeitsgruppe noch folgende Geräte zur Verfügung:

2 Industrielle Galvanikanlagen für 4-Zoll-Wafer von MOT Mikro und Oberflächen Technik (derzeit für Nickel- und Nickel-Eisen-Legierungsabscheidungen genutzt)
Gold-Galvanik-Anlage
Autolab RotaHull - Rotierende Zylinder Hull Zelle
Potentiostat PGSTAT302N; Metrohm incl. ECD-Modul für kleine Ströme
Atomabsorptions-Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell 3100
UV-VIS Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell Lambda 41
HPLC Agilent LC-System 1100 mit diversen Modulen, wie isokratische Pumpe, Säulenofen, Diodenarray-Detektor sowie Brechungsindex-Detektor