Ausstattung

• Argonlaser
• Laser-Speckle-Meßplatz
• Reinraum
• Prozesstechnik
• Thermische Aufdampfanlage
• Sputteranlage
• Spin-Coating
• nasschemische Prozesstechnik
• reaktives Ionenätzen
• PECVD, Bonder
• optisches Mikroskop
• Rasterkraft-Mikroskop
• Raster-Tunnel-Mikroskop
• Raster-Elektronen-Mikroskop
• Profilometer
• Versuchsstände Optoelektronik
• Versuchsstände Thermoelektrik
• Thermographie mit hoher Ortsauflösung
• Grundlagenlabor Physik