PAPERS - Deep wet etching of fused silica glass for hollow capillary optical leaky waveguides in microfluidic devices
Journal of micromechanics and microengineering. structures, devices and systems. Bd. 11. H. 3. Bristol: IOP Publ. 2001 S. 257 - 262
Erscheinungsjahr: 2001
ISBN/ISSN: 0960-1317
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
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Autoren
Grosse, A. (Autor)
Grewe, M. (Autor)
Fouckhardt, H. (Autor)
