Articles - Technology and realization of metallic curved waveguide mirrors in polymer film waveguides based on anisotropic plasma etching
Journal of vacuum science & technology. JVST ; the official journal of the AVS. Bd. 19. H. 1. New York, NY: Inst. 2001 S. 87 - 89
Erscheinungsjahr: 2001
ISBN/ISSN: 0734-2101
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
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Autoren
Wolff, S. (Autor)
Grosse, A. (Autor)
Schimper, H.-J. (Autor)
Giehl, A.R. (Autor)
Kuhnke, M. (Autor)
Grote, R. (Autor)
Fouckhardt, H. (Autor)
