Performance Modeling and Characterization of AlN Resonator
MikroSystemTechnik Kongress 2011 (Hrsg). Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011. Darmstadt: VDE 2011 S. 833 - 836
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
| Geprüft: | Bibliothek |
Autoren
Qiu, Huacheng (Autor)
Schwarz, Patrick (Autor)
Wu, X. Z. (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
