AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen; 10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland. Aachen: VDE 2013 4 S.
Erscheinungsjahr: 2013
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
| Geprüft: | Bibliothek |
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
