The Effect of Moderate Hydrogen Dilution on Stability and Structure of Amorphous Silicon Deposited by Hot-Wire CVD
MRS Online Proceedings Library. Bd. 664. Springer Science and Business Media LLC 2001 S. A7.3.1 - A7.3.6 73
Erscheinungsjahr: 2001
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1557/proc-664-a7.3
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Klassifikation
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
