Laser optical surface characterization of complex optical elements in the nanometric range
Manfred Weck; Horst Kunzmann (Hrsg). Proceedings : EUSPEN International Topical Conference on Precision Engineering, Micro Technology, Measurement Techniques and Equipment : May 19th - 20th, 2003, Aachen, Germany : Vol. 2. Bd. 2. Voerde: Riehm 2003 S. 519 - 522
Erscheinungsjahr: 2003
ISBN/ISSN: 3-926832-30-4
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
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