Surface characterization of optical elements based on monochromatic scattered light techniques
Reinhard Lerch (Hrsg). Proceedings : Sensor 2003 : 11th international conference, 13 - 15 May 2003, Exhibition Centre Nuremberg, Germany ; an event of the Association for Sensor Technology, AMA : volume 1. Bd. 1. Wunstorf: AMA Service 2003 S. 305 - 310
Erscheinungsjahr: 2003
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
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