Photolithography - Electroforming - Pulse Electrochemical Machining: An Innovative Process Chain for the High Precision and Reproducible Manufacturing of Complex Microstructures
INTERNATIONAL JOURNAL OF ELECTROCHEMICAL SCIENCE SN 1452-3981. Bd. 9. H. 7. 2014 S. 3917 - 3927
Erscheinungsjahr: 2014
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
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Autoren
Weinmann, Martin (Autor)
Weber, Olivier (Autor)
Baehre, Dirk (Autor)
Munief, Walid (Autor)
Natter, Harald (Autor)
