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Combining nanoimprint lithography, electroplating and microstructuring techniques to fabricate 3D nanostructured multielectrode arrays for biological applications

VDE /7.GMM Workshop Mikro-Nano-Integration. Dortmund. 2018

Erscheinungsjahr: 2018

Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)

Sprache: Englisch

Autoren


Decker, D. (Autor)
Ingebrandt, S. (Autor)

Klassifikation


DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften

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