Vacuum pressure and gas detection with a silicon based micromechanical squeeze film sensor
Procedia Engineering. Bd. 5. Elsevier BV 2010 S. 750 - 753
Erscheinungsjahr: 2010
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Deutsch
Doi/URN: 10.1016/j.proeng.2010.09.217
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
