Multiphoton lithography and ITO structuring by high repetition-rate sub-15 femtosecond laser pulses
SPIE Proceedings. Bd. 7920. San Francisco, California, United States: SPIE 2011 S. 792015
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Diverses
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.875897
Autoren
Afshar, Maziar (Autor)
Saremi, Somaie (Autor)
Völlm, Henning (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Straub, Martin (Autor)
Zhang, H. (Autor)
König, Karsten (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
