Sub-100nm material processing with sub-15 femtosecond picojoule near infrared laser pulses
SPIE Proceedings. Bd. 7903. San Francisco, California, United States: SPIE 2011 S. 79031
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.875004
Autoren
König, Karsten (Autor)
Uchugonova, Aisada (Autor)
Straub, Martin (Autor)
Zhang, Huijing (Autor)
Afshar, Maziar (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
