AlN based piezoelectric force sensor for energy autonomous sensor systems
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference. Beijing, China: IEEE 2011 S. 1072 - 1075
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Diverses
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1109/transducers.2011.5969176
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
