Sub-100 nm structuring of indium-tin-oxide thin films by sub-15 femtosecond pulsed near-infrared laser light
Optics Letters. Bd. 37. H. 4. Optica Publishing Group 2012 S. 563
Erscheinungsjahr: 2012
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1364/ol.37.000563
Autoren
Afshar, Maziar (Autor)
Straub, Martin (Autor)
Voellm, Henning (Autor)
Koenig, Karsten (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften