Surface plasmon polariton model of high-spatial frequency laser-induced periodic surface structure generation in silicon
Journal of Applied Physics. Bd. 111. H. 12. AIP Publishing 2012
Erscheinungsjahr: 2012
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1063/1.4730381
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften