Electrical characterization of micromachined AlN resonators at various back pressures
Microsystem Technologies. Bd. 20. H. 4-5. Springer Science and Business Media LLC 2013 S. 663 - 670
Erscheinungsjahr: 2013
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1007/s00542-013-2003-9
Autoren
Ababneh, Abdallah (Autor)
Al-Omari, A. N. (Autor)
Dagamseh, A. M. K. (Autor)
Qiu, H. C. (Autor)
Ruiz-Díez, V. (Autor)
Manzaneque, T. (Autor)
Hernando, J. (Autor)
Sánchez-Rojas, J. L. (Autor)
Bittner, A. (Autor)
Schmid, U. (Autor)
Seidel, H. (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
