Viscothermal acoustic waves in micro scale resonators
2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII). IEEE 2013 S. 1719 - 1722
Erscheinungsjahr: 2013
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1109/transducers.2013.6627118
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
