AlN micromechanical radial-contour disc resonator
Journal of Micromechanics and Microengineering. Bd. 23. H. 9. IOP Publishing 2013 095002
Erscheinungsjahr: 2013
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Deutsch
Doi/URN: 10.1088/0960-1317/23/9/095002
| Geprüft: | Bibliothek |
Autoren
Wang, Gang (Autor)
Xu, Li-Xin (Autor)
Ababneh, Abdallah (Autor)
Schwarz, Patrick (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
