AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme
Mikrosystemtechnik 2013. Aachen: VDE 2013
Erscheinungsjahr: 2013
Titel des mehrbändigen Werkes: Mikrosystemtechnik 2013
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
