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Dynamic analysis of the torsional resonant mode of piezoelectric microcantilevers

Mikrosystemtechnik 2013. Aachen: VDE 2013

Erscheinungsjahr: 2013

Titel des mehrbändigen Werkes: Mikrosystemtechnik 2013

Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)

Sprache: Englisch

Autoren


Qiu, Huacheng (Autor)
Wu, X Z (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)

Klassifikation


DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik

DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften

Verknüpfte Personen


Beteiligte Einrichtungen