Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für Mikroaktorikanwendungen
MikroSystemTechnik Kongress 2013. Aachen: VDE 2013
Erscheinungsjahr: 2013
Titel des mehrbändigen Werkes: MikroSystemTechnik 2013 -
Publikationstyp: Diverses (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
Autoren
Kirsch, Christian (Autor)
Schmid, Ulrich (Autor)
Balck, Anne (Autor)
Leester-Schädel, Monika (Autor)
Büttgenbach, Stephanus (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
