Incubation and nanostructure formation on n- and p-type Si(1 0 0) and Si(1 1 1) at various doping levels induced by sub-nanojoule femto- and picosecond near-infrared laser pulses
Applied Surface Science. Bd. 314. Elsevier BV 2014 S. 21 - 29
Erscheinungsjahr: 2014
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1016/j.apsusc.2014.06.140
Autoren
Schüle, M. (Autor)
Afshar, M. (Autor)
Seidel, H. (Autor)
König, K. (Autor)
Straub, M. (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
