A MEMS-based hot-film thermal anemometer with wide dynamic measurement range
IEEE SENSORS 2014 Proceedings. IEEE 2014 S. 420 - 423
Erscheinungsjahr: 2014
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Deutsch
Doi/URN: 10.1109/icsens.2014.6985024
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
