Generation of laser-induced periodic surface structures in indium-tin-oxide thin films and two-photon lithography of ma-N photoresist by sub-15 femtosecond laser microscopy for liquid crystal cell application
SPIE Proceedings. Bd. 9351. SPIE 2015 S. 93511O
Erscheinungsjahr: 2015
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Doi/URN: 10.1117/12.2076946
Autoren
Klötzer, Madlen (Autor)
Afshar, Maziar (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
König, Karsten (Autor)
Straub, Martin (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
