Air damping of micro bridge resonator vibrating close to a surface with a moderate distance
Journal of Micromechanics and Microengineering. Bd. 25. H. 5. IOP Publishing 2015 S. 055016
Erscheinungsjahr: 2015
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Deutsch
Doi/URN: 10.1088/0960-1317/25/5/055016
Autoren
Qiu, Huacheng (Autor)
Schwarz, Patrick (Autor)
Wu, Xuezhong (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
