MEMS-basierter thermischer Durchflusssensor für eine Flussmessung mit hoher Dynamik
MikroSystemTechnik 2015. Bd. MikroSystemTechnik Kongress 2015. 2025
Erscheinungsjahr: 2025
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz (Konferenzbeitrag)
Sprache: Deutsch
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften
