On-chip nanostructuring and impedance trimming of transparent and flexible ITO electrodes by laser induced coherent sub-20 nm cuts
Applied Surface Science. Bd. 360. Elsevier BV 2016 S. 494 - 501
Erscheinungsjahr: 2016
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Deutsch
Doi/URN: 10.1016/j.apsusc.2015.10.119
Autoren
Afshar, Maziar (Autor)
Leber, Moritz (Autor)
Poppendieck, Wigand (Autor)
König, Karsten (Autor)
Seidel, Helmut (Autor)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik
DDC Sachgruppe:
Technik