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Electrical and morphological characterization of platinum thin-films with various adhesion layers for high temperature applications

Microsystem Technologies. Bd. 23. H. 3. Springer Science and Business Media LLC 2015 S. 703 - 709

Erscheinungsjahr: 2015

Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz

Sprache: Deutsch

Doi/URN: 10.1007/s00542-015-2715-0

Volltext über DOI/URN

Autoren


Ababneh, A. (Autor)
Al-Omari, A. N. (Autor)
Dagamseh, A. M. K. (Autor)
Tantawi, M. (Autor)
Pauly, C. (Autor)
Mücklich, F. (Autor)
Seidel, H. (Autor)

Klassifikation


DFG Fachgebiet:
4.42 - Elektrotechnik und Informationstechnik

DDC Sachgruppe:
Ingenieurwissenschaften

Verknüpfte Personen


Beteiligte Einrichtungen