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Vorrichtung zum Messen einer Druckdifferenz, insbesondere kapazitiver Differenzdrucksensor

Patentnummer: DE 102011017462

Patentinhaber: Hydac Electronic GmbH; ZeMA gGmbH

Erfinder: Feili, Dara; Graf, Judith; Mannebach, Horst; Seidel, Helmut

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Beteiligte Personen