Micro-Structuring of Thin ITO Layers under LIBS Process Control
Proceedings 6th Euro-Mediterranean Symposium on Laser-Induced Breakdown Spectroscopy. Bd. EMSLIBS 2011. Izmir, Turkey. 2011 S. 187
Erscheinungsjahr: 2011
Publikationstyp: Zeitschriftenaufsatz (Konferenzbeitrag)
Sprache: Englisch
| Geprüft: | Bibliothek |
Autoren
Silbernagel, Christian (Beteiligte Person)
Klassifikation
DFG Fachgebiet:
3.21 - Physik der kondensierten Materie
DDC Sachgruppe:
Physik
